Безмаслен въздушен компресор за полупроводникови лаборатории

За установяване на надеждни комунални линии за прецизни изследователски съоръжения, източник от китайски безмаслен въздушен компресор за доставчици на Semiconductor Labs. Решенията за въздух с висока чистота на DECHUAN използват многослойни въглеродни изолационни уплътнения за елиминиране на следи от въглеводороди, осигурявайки чисто качество на газа за критично ецване на силиций.

Критични изисквания за чистота на газа за чисти помещения

При производството на полупроводници и тънкослойната литография дори една микроскопична капка маслена пара, пренесена през въздушната линия, може да съсипе цяла производствена партида. Този специализиран продукт е проектиран да отговаря на най-високите стандарти за чистота:

• TÜV сертифициран клас 0 доставка на въздух: Нашите системи преминават през строги тестове при променливи работни температури. Независим анализ потвърждава абсолютно нулеви следи от масло в изходящия въздушен поток.

• Неустойчиви на корозия вътрешни въздушни пътища: Всяко парче тръбопровод, охладителен сноп и разделителна матрица надолу по веригата на компресионната камера са изработени от първокласна неръждаема стомана, за да се предотврати замърсяването на люспите от ръжда във въздуховодите за чисти помещения.

• Усъвършенствана интеграция с Elektronikon®: Интегрираният контролер следи отблизо оперативните показатели и разполага с проактивни изключвания за безопасност, за да гарантира, че в лабораторната решетка никога няма да навлезе нечист въздух.

Високата цена на микрозамърсяването в електрониката

При производството на полупроводникови пластини една капка маслен аерозол може да замърси цяла среда на чиста стая, унищожавайки хиляди силициеви пластини и причинявайки милиони загубено производствено време. Традиционните въздушни компресори не могат да гарантират абсолютната нулева чистота на въглеводороди, необходима за тези процеси в нанометров мащаб.

Специализираният безмаслен въздушен компресор за Semiconductor Labs гарантира чиста сигурност на процеса:

• Сертифициран КЛАС 0 въздушен поток: Тестван стриктно от TÜV в екстремни температурни диапазони и диапазони на налягане, за да се гарантира абсолютно нулево присъствие на масло.

• Вътрешни части без частици: Предварителни охладители от неръждаема стомана и топлообменници със звездни перки елиминират окислителните люспи или отделянето на химикали във въздушния път.

• Електронен щит за наблюдение: Проактивните аларми за поддръжка и автоматичното изключване при повреда предотвратяват отклонения в системата, преди да достигнат до вашите инструменти за чиста стая.

Параметри за техническа чистота

• Номинална мощност на системата: 55kw - 900kw конфигурации с висока плътност.

• Обемна скорост на подаване: 4,2 - 148,5 m³/мин чист поток.

• Класификация на съдържанието на масло: ISO 8573-1 Клас 0 валидиране напълно без масло.

• Разпределение на охлаждането: Охлаждане с течност от неръждаема стомана, предотвратяващо отделянето на химически газове.

Референтните условия за изпълнение на уреда са измерени съгласно приложение C, 4-то издание (2009) на ISO 1217:

· Относителна влажност: 0%

· Абсолютно входно налягане: 1 bar

· Входяща температура: 20°C Скоростта на изпускане (FAD) е измерена при следните работни налягания:

Тип постоянна скорост:

·  -7,5 bar тип: 7 bar

· -8,6 bar тип: 7 bar

· -10 bar тип: 9 bar

Тип VSD:

· -8,6 bar тип: 7 bar

· -10,4 bar тип: 9 bar

· (2) Претеглено ниво на звуково налягане на емисиите от клас А на работната станция (LpWSAd). Измерено съгласно ISO 2151:2004 (като се използва метод за сканиране на интензитета на звука 150 9614/2). Новодобавеният коефициент на корекция е напълно несигурна стойност (KpAd), съответстваща на тестовия код.

· (3) Теглото е само за справка; действително доставеното тегло има предимство.

ZR/ZT 110-160 (FF) STD

Съгласно ISO 1217, приложение C, 4-то издание (2009), референтните условия за производителност на уреда са както следва:

· Относителна влажност: 0%

· Абсолютно входно налягане: 1 bar

· Входяща температура: 20°C

Обемът FAD се измерва при следните работни налягания:

Модели с постоянна скорост:

-7.5 bar модели: 7 bar

-8.6 bar модели: 7 bar

-10 bar модели: 9 bar

VSD модели:

-8.6 bar модели: 7 bar

-10.4 bar модели: 9 bar

(2) Претеглено ниво на звуково налягане на емисиите от клас А на работната станция (LpWSAd). Измерено съгласно ISO 2151:2004 (ISO 9614/2 метод за сканиране на интензитета на звука). Новодобавеният корекционен коефициент KpAd е несигурен и отговаря на тестовия код.

(3) V1=380V, V2=400V.

(4) Теглото е само за справка; действителното тегло има предимство.

ZR/ZT 200-275 (FF)

-Относителна влажност: 0%

-Абсолютно входно налягане: 1bar

-Входяща температура: 20°℃

Скоростта на разреждане (FAD) беше измерена при следните работни налягания

Тип постоянна скорост:

-7.5 bar тип: 7 bar

-8.6 bar тип: 7 bar

-10 bar тип: 9 bar

Тип VSD:

-8.6 bar тип: 7 bar

-10.4 bar тип: 9 bar

(2) Претеглено ниво на звуково налягане на емисиите от клас А на работната станция (LpWSAd).

Измерено съгласно ISO 2151:2004 (с помощта на 150 9614/2 (метод на сканиране на интензитета на звука).

Новодобавеният коефициент на корекция е напълно несигурна стойност (KpAd), съответстваща на тестовия код.

(3) Теглото е само за справка; действително доставеното тегло има предимство.

ZR 300-750

Референтните условия за изпълнение на уреда са измерени съгласно приложение C, 4-то издание (2009) на ISO 1217:

· Относителна влажност: 0%

· Абсолютно входно налягане: 1 bar

· Входяща температура: 20°C Скоростта на изпускане (FAD) е измерена при следните работни налягания:

Тип постоянна скорост:

·  -7,5 bar тип: 7 bar

· -8,6 bar тип: 7 bar

· -10 bar тип: 9 bar

Тип VSD:

· -8,6 bar тип: 7 bar

· -10,4 bar тип: 9 bar

· (2) Претеглено ниво на звуково налягане на емисиите от клас А на работната станция (LpWSAd). Измерено съгласно ISO 2151:2004 (като се използва метод за сканиране на интензитета на звука 150 9614/2). Новодобавеният коефициент на корекция е напълно несигурна стойност (KpAd), съответстваща на тестовия код.

· (3) Теглото е само за справка; действително доставеното тегло има предимство.

ZR 200X-400X

Референтните условия за изпълнение на уреда са измерени съгласно приложение C, 4-то издание (2009) на ISO 1217:

· Относителна влажност: 0%

· Абсолютно входно налягане: 1 bar

· Входяща температура: 20°C Скоростта на изпускане (FAD) е измерена при следните работни налягания:

Тип постоянна скорост:

·  -7,5 bar тип: 7 bar

· -8,6 bar тип: 7 bar

· -10 bar тип: 9 bar

Тип VSD:

· -8,6 bar тип: 7 bar

· -10,4 bar тип: 9 bar

· (2) Претеглено ниво на звуково налягане на емисиите от клас А на работната станция (LpWSAd). Измерено съгласно ISO 2151:2004 (като се използва метод за сканиране на интензитета на звука 150 9614/2). Новодобавеният коефициент на корекция е напълно несигурна стойност (KpAd), съответстваща на тестовия код.

· (3) Теглото е само за справка; действително доставеното тегло има предимство.

Казус от потребителя на чиста стая лаборатория

Производител на електроника в Азия инсталира специализираната въздушна система на DECHUAN за захранване на контури за генериране на азот с висока чистота и пневматични рамена за изпитване. Преди това стандартните компресори позволяваха следите от маслени пари да мигрират покрай вградените филтри, покривайки литографските лещи и причинявайки микропукнатини в покритията на вафлите. След инсталирането на въздушен компресор без масло за Semiconductor Labs, лабораторията отчете нулеви инциденти на замърсяване на линията, свързани с масло, спестявайки значителни разходи за почистване на чисти помещения и повторно калибриране в продължение на две години непрекъсната работа.

Персонализиране на компоненти и контрол

• Надграждане на материала от неръждаема стомана: Заменяме всички стандартни вътрешни ляти компоненти с висококачествена неръждаема стомана, за да отговорим на строгите указания за микрозамърсяване.

• Усъвършенствани комуникационни протоколи: Устройството е предварително заредено със специализирани комуникационни протоколи, позволяващи на контролните центрове за чисти помещения да наблюдават отдалечено показателите за въздуха.

• Компактен структурен отпечатък: Вътрешното оформление е оптимизирано за минимизиране на отпечатъка, което го прави лесен за инсталиране в тесни лабораторни сутеренни помещения.

Често задавани въпроси за индустриални купувачи

Въпрос: Можем ли да свържем този компресор директно към филтриращи контури с ултра-висока чистота (UHP)?

О: Да, нашият въздушен поток е напълно съвместим с усъвършенствани десикантни сушилни за чисти помещения и системи за филтриране на субмикронни частици. Тъй като суровият въздух не съдържа маслени пари, вашите специализирани филтри на мястото на употреба няма да се запушат с маслена мъгла, което удължава живота на филтъра.

В: Как уплътненията тип Z гарантират нулева миграция на масло от зъбното колело?

A: Безмасленият въздушен компресор за Semiconductor Labs разполага с физическо атмосферно вентилационно пространство между смазания с масло корпус на зъбното колело и сухата камера за компресия. Специализираните безконтактни въглеродни уплътнения на пръстена са съчетани с канали за отрицателно налягане, гарантирайки, че мъглата от трансмисионното масло е напълно блокирана от навлизането в потока чист въздух.

В: Какво се случва, ако вътрешен температурен сензор открие необичайно показание?

A: Контролерът Elektronikon® взема проби от жизненоважни данни няколко пъти в секунда. Ако на който и да е етап бъде открит температурен скок, системата незабавно задейства автоматично изключване и затваря изолационните вентили, като гарантира, че неохладеният въздух никога не тече надолу по веригата в чувствителното оборудване на вашата лаборатория.